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真空兼容的交叉滚子轴承https://zc.xwboo.com/平台是清洁组装的，并且由适于在低至 10-6 托的真空压力中使用的低蒸气压油脂制成。9066 和 9067 版本不带底座，更便于集成到有体积限制的真空系统中。
精确控制和平滑位移
这些真空兼容的交叉滚子位移台提供了可靠坚固的薄型线性位移。与其标准版本类似，负重安放在这些位移台的促动器上，水平和垂直方向（包括 X 配置位移台）上的载重能力高达 50 磅，并且可以锁定到位。这也可实现高达 50 磅的高载重能力。角偏差 <150 μrad，且直线精度优于 3 微米，可达到通常所需的微米级行程精度。